91免费入口在线观看,白丝喷白浆一区二区在线观看,9丨国产丨精品|永久免费在线,国产一级精品绿帽视频,特级西西WWw44高清大胆图片
新聞

新聞

News

等離子體刻蝕面臨的挑戰(zhàn)

點(diǎn)擊量:657 日期:2023-08-21 編輯:硅時(shí)代

近幾十年來(lái),等離子刻蝕技術(shù)已取得了長(zhǎng)足發(fā)展。利用等離子刻蝕技術(shù),人們得以準(zhǔn)確地雕刻器件結(jié)構(gòu),從而為晶體管尺寸的縮小以及性能的提升提供了保障。但是,當(dāng)前的先進(jìn)芯片關(guān)鍵尺寸更小,有些還具有三維結(jié)構(gòu)(如FinFETs和3D NAND),這無(wú)疑對(duì)當(dāng)前的等離子刻蝕技術(shù)提出了挑戰(zhàn)。

均勻性一直是刻蝕工藝的一大考量。關(guān)鍵器件結(jié)構(gòu)尺寸的允許工藝誤差一般約為其自身尺寸的10%。例如,寬度為 10nm 的晶體管柵極結(jié)構(gòu),其允許誤差僅為 1nm,相當(dāng)于3至4個(gè)原子層。

隨著結(jié)構(gòu)尺寸的不斷縮小,人們需要盡可能地降低由各種原因?qū)е碌墓に囌`差。不同尺寸的結(jié)構(gòu)在刻蝕中的速率差異是誤差產(chǎn)生的重要原因之一。這種深寬比相關(guān)刻蝕(ARDE)會(huì)導(dǎo)致高深寬比結(jié)構(gòu)的刻蝕速率要比低深寬比結(jié)構(gòu)的刻蝕速率低。

另一項(xiàng)挑戰(zhàn)則在于,刻蝕工藝需要在去除目標(biāo)材料的同時(shí),完好地保留下一層材料。

例如,一個(gè)薄膜堆棧由多層材料組成,我們可能只要去除最上面的那層(材料 1),而同時(shí)不能去除或損壞下層(材料 2)。材料 1 和材料 2 的刻蝕速率比稱為“選擇比”,很多刻蝕工藝都要求具有極高的選擇比。

第三項(xiàng)挑戰(zhàn)在于,當(dāng)達(dá)到期望的深度之后,等離子體中的高能離子可能會(huì)導(dǎo)致硅片表面粗糙或底層損傷,這是需要極力避免的問(wèn)題。對(duì)于最先進(jìn)的芯片,工程師們需要對(duì)上述參數(shù)進(jìn)行更嚴(yán)格的控制,以期獲得原子級(jí)高保真度。

  • 聯(lián)系我們
  • 聯(lián)系電話:0512-62996316
  • 傳真地址:0512-62996316
  • 郵箱地址:sales@si-era.com
  • 公司地址:中國(guó)(江蘇)自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)蘇州片區(qū)——蘇州工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號(hào)納米城西北區(qū)09棟402室
  • 關(guān)注與分析
蘇州硅時(shí)代電子科技有限公司 版權(quán)所有 Copyright 2020 備案號(hào):蘇ICP備20007361號(hào)-1 微特云辦公系統(tǒng) 微納制造 MEMS設(shè)計(jì)
一鍵撥號(hào) 一鍵導(dǎo)航
99久久久久国产大白奶 | www在线少妇视频 | 亚洲国产精品网站 | 91成漫在线观看 | 把腿扒开做爽爽的视频 | av久久无码高潮喷吹免费群 | 亚洲无码在线免费视频 | 日本性爱人妻少妇视频 | 欧美日韩一区二区 在线 | 操啊操BAV久久 | 午夜福利片免费观看 | 黄色视频免费看网站 | 久热视频在线观看 | 竹菊影视网站在线观看一区二区三区四区 | 特级做a爰片毛片A片免费公交车 | 少妇人妻偷人精品视频18禁 | 成人做爰黄A片免费视频网站野外 | 三上悠亚高の爱人沼一区二区 | 亚洲午夜精品一区二区 | 91在线视频在线 | 日韩性爱视频在线观看 | 欧美日韩精品网址 | 无码人妻肥臀白浆一区二区 | 精品嫩草AV无码专区男同 | 亚洲影院久久久av天天蜜桃臀 | 亚洲AV无码一区二区一二区教师 | 久久婷色综合色欲 | WWw.C0m黄色电影 | 特级婬片A片AAA毛片A级面粉 | 成人性生交大片费看欧美 | 中文字幕_第155页_高清免费在线 | 在哪里可以观看中国无码三级片 | 国产裸体美女永久免费无遮 | 人人妻人人澡人人爽人人蜜桃 | 少妇插B免费视频在线播放 成人A片99999产无码 | 日本午夜视频在线观看 | 国产黄片免费观看 | 国产又粗又硬又大视频 | 中国婬乱a一级毛片多女 | 亚洲精品视频在线播放 | 国产AV综合AV天堂色欲四季 |