91免费入口在线观看,白丝喷白浆一区二区在线观看,9丨国产丨精品|永久免费在线,国产一级精品绿帽视频,特级西西WWw44高清大胆图片
新聞

新聞

News

MEMS設計表面微加工存在的力學問題

點擊量：1765 日期：2021-12-25 編輯：硅時代

MEMS設計表面微加工指通過沉積多層薄膜和圖形制備三維微機結構的一種加工方式。其常用的薄膜材料主要有：多晶硅，氮化硅，氧化硅， PSG（磷硅酸鹽玻璃）， BSG（硼硅酸玻璃）和金屬
圖1.1 MEMS微表面加工示意圖

典型的結構組成包括1.微結構層 2.犧牲層 3.絕緣層部分。在微加工過程中存在三個主要力學問題：  
（1）層間黏附
（2）界面應力
（3）靜態(tài)阻力

層間的黏附在分離材料層中的犧牲層時有所體現(xiàn)，一定程度上影響懸臂梁正常狀態(tài)，容易發(fā)生坍塌

層與層之間材料的熱膨脹系數(shù)不匹配會引起熱應力，過量摻雜也會導致結構在表面微加工之后產(chǎn)生殘余應力。

  • 聯(lián)系我們
  • 聯(lián)系電話：0512-62996316
  • 傳真地址：0512-62996316
  • 郵箱地址：sales@si-era.com
  • 公司地址：中國（江蘇）自由貿(mào)易試驗區(qū)蘇州片區(qū)——蘇州工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號納米城西北區(qū)09棟402室
  • 關注與分析
蘇州硅時代電子科技有限公司 版權所有 Copyright 2020 備案號：蘇ICP備20007361號-1 微特云辦公系統(tǒng) 微納制造 MEMS設計
一鍵撥號 一鍵導航
少妇人妻系列无码专区视频 | 中文字幕精品无码一区二区 | 国产精品久久久无码中文字 | 日本理伦片午夜理伦片 | 国产农村A片国语对白 | 女同在线A片一区二区三区竹菊 | 美女扒开尿口让男人桶 | 黄色毛片免费无码高清在线观看 | 免费看一级高潮毛片2023 | 国产a一级毛片爽爽影院无码 | 特黄一级片播放视频 | 亚洲精品久久久久 | 成人做爰A片网上免费 | /乱熟乱熟农村少妇一区二区 | 色香阁在线视频无码 | 免费精品国产人妻gAⅤ导航 | 国产不卡视频在线观看 | 亚洲精品国产av | 精品中文字幕在线观看免费观看 | 黄色免费在线视频 | 四川少妇BBB搡BBB | 欧美成人一区二区三区片免费 | 在线喷水免费观看 | 国产伦亲子伦亲子视频观看 | 少妇又黄又粗又紧 | 好屌1区2区3区 | 精品国产乱码久久久久久1区2匹 | 在线观看亚洲中文 | 波多野结衣乳巨码无在线观看 | 免费一级婬片A片啪啪声广告 | 成年女人内射免费视频 | 91久久精品少妇潮喷白浆 | 国产AV旗袍丝袜被操 | 人妻无码在线视频 | 黄色视频免费观看图片一级 | 台湾佬中文综合天天看 | 一级黄色毛片在线免费观看 | 欧美毛片少妇蜜桃 | 噜噜噜噜色噜噜噜噜 | 91人妻人人澡人人爽人人精品 | 26uuu国产精品 |