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微納加工制造用超高純電子氣體
點擊量：703 日期：2022-08-16 編輯：硅時代
“微納加工制造用超高純電子氣體”是國家在2017年度重點研發(fā)計劃，是由多家企業(yè)和多所高校聯(lián)合申請，該項目研究很大程度上可以促進微納電子制造用戰(zhàn)略性先進材料的國產(chǎn)化電子氣體在半導體領域應用十分廣泛，在薄膜，光刻，刻蝕，摻雜，氣相沉積以及擴散等環(huán)節(jié)都有所應用，是支撐半導體發(fā)展必不可少的基礎性原材料。
