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2020-06-08
MEMS加工技術(shù)工藝是根據(jù)產(chǎn)品需要，在各類襯底（硅襯底，玻璃襯底，石英襯底，藍寶石襯底等等）制作微米級微型結(jié)構(gòu)的加工工藝。而ic工藝則側(cè)重于半...
2020-05-22
國內(nèi)MEMS代工廠分為IDM（垂直整合制造）MEMS代工和純MEMS代工廠。 IDM廠主要制造自己產(chǎn)品，同時也會利用富余產(chǎn)能對外代工服務，國內(nèi)靠...
2020-05-22
微納加工氧化工藝是在高溫下，襯底的硅直接與O2發(fā)生反應生成SiO2，后續(xù)O2通過SiO2層擴散到Si/SiO2界面，繼續(xù)與Si發(fā)生反應增加SiO2薄膜的厚...
2020-05-19
mems加工，mems代工服務的地方 MEMS代加工服務商分為IDM廠商提供的MEMS代工和純MEMS代工廠： IDM廠商提供的MEMS代工包括博世...
2020-04-07
MEMS加速度傳感器是一個力傳感器，通過測量固定質(zhì)量塊在受到加速度作用時產(chǎn)生的力來測得加速度，包括彈性梁、質(zhì)量塊、固定框幾個部分，其加速度計...
2020-03-31
微納米加工的圖形化工藝主要分為圖形轉(zhuǎn)移和直接加工兩種技術(shù)，圖形轉(zhuǎn)移技術(shù)包括三個部分：薄膜沉積，圖形成像，圖形轉(zhuǎn)移。而直接加工的激光束蝕刻技術(shù)...
